簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: pass_date={"gte":"2023-10-01"} and stat="3" and ckeyword.raw="數位微反射鏡"


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    深度數位微影曝光之能量規劃程序設計
    • 自動化及控制研究所 /112/ 碩士
    • 研究生: 謝曉涵 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程是不斷發展的半導體產業中非常重要技術之一,這項技術利用光學投影將線路結構曝光於晶圓上,製造出微米甚至是奈米等級尺寸之電路。相對於傳統的微影製程,數位微影製程不再需要使用光罩,而是透過各種光學…
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    • 全文公開日期 2026/02/05 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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